在工業(yè)廢氣處理中，首先要考慮廢氣的污染因子、濃度和排放量，其次要考慮去除效率。在理解上述兩個(gè)方面的基礎(chǔ)上，應(yīng)該考慮什么樣的過程。但應(yīng)進(jìn)一步分析廢氣的溫度、濕度、污染因子（熔點(diǎn)、沸點(diǎn)、易燃易爆性、水溶性、鹵素和粘度）特性和非有機(jī)污染因子（如顆粒物）。同時(shí)，還應(yīng)考慮處理過程的安全性、經(jīng)濟(jì)性和穩(wěn)定性。

活性炭凈化柜和催化燃燒均可單獨(dú)使用或組合使用。該組合主要利用兩者的互補(bǔ)性：活性炭吸附適用于大風(fēng)量、低濃度廢氣，催化燃燒適用于小風(fēng)量、高濃度廢氣，活性炭吸附的有機(jī)物在高溫下可以解吸。從另一個(gè)角度看，這種組合工藝可以看作是活性炭的現(xiàn)場再生利用工藝，不僅降低了吸附飽和后活性炭的置換成本，同時(shí)也避免了因吸附飽和而無法及時(shí)更換活性炭而造成的過度排放風(fēng)險(xiǎn)。催化燃燒的目的是利用貴金屬催化劑降低廢氣中有機(jī)物的活化能，使有機(jī)物在較低溫度（一般在250-300℃左右，不同組分有機(jī)物的催化燃燒溫度不同）下實(shí)現(xiàn)無焰燃燒。活性炭凈化柜的原理是廢氣通過催化劑時(shí)，先吸附在催化劑表面，然后在一定溫度下發(fā)生催化燃燒，達(dá)到凈化的目的。目前，有機(jī)廢氣處理中常用的催化劑有蜂窩狀鈀金屬催化劑和鉑金屬催化劑。催化燃燒方法包括電加熱和燃?xì)饧訜帷Ｈ紵愋桶ㄖ苯哟呋紵–O）和再生催化燃燒（RCO）。催化燃燒一般適用于空氣量小、濃度高、溫度高的氣態(tài)有機(jī)物，廢氣中不能含有硫、鉛、汞、砷、鹵素等對催化劑有毒害作用。