催化燃燒設備氧化法就是將VOCs工業三廢在較低條件下進行氧化焚燒，在金屬催化機理下轉化成CO2和H2O。這類有機廢氣治理方法的主要特征取決于，在具體運行中，對預熱溫度的要求不高，VOCs工業三廢處在無焰燃燒情況，進行凈化后的階段處在無焰燃燒情況，這樣既可以提升有機廢氣處理的穩定性，又可對VOCs工業三廢進行合理濃度和發熱量操縱，從而減少有機廢氣處理費用。
現在國內過去的工業有機廢氣處理階段所采用的催化燃燒設備法存在一定的缺陷，一方面，當催化劑載體與工業三廢中的重金屬、鹵素燈泡和硫酸鹽等物質混合均勻，及易發生無效狀況，另一方面，當整治之后的VOCs工業三廢濃度值比較低或氣旋過大時，僅依靠易燃物點燃放熱反應就難以維持催化劑載體料層所需要的凈化的作用環境溫度，因而，在系統打開、運行中還需耗費比較多的電力能源或然料。
為提升催化燃燒設備技術處理的經濟性，除了繼續科學研究改善催化劑載體性能外，還需要開展新技術的研究和探索。近些年科學研究比較多的是憑借儲熱技術性，轉為催化燃燒設備技術性，轉為催化燃燒設備技術性從技術上具備獨特優勢，在環境保護工程、低質量資源利用等多個方面有著大量的運用，海外已把它現代化，目前有數百臺機器設備投入使用。
催化燃燒設備的氧化法還是用比較廣泛的一直廢氣處理方式，你們可以簡單的了解下。